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激光直写进入三维时代:飞秒激光正在打开光子制造的新空间
2026-09-10
在微纳制造领域,有一类技术正在持续受到关注:不依赖固定实体掩模,而是把数字设计直接转换成激光加工轨迹,让光束在材料上“写”出所需要的结构。这就是激光直写,Direct Laser Writing,简称DLW。DLW并不是一种单一工艺。它可以用于二维图形曝光,也可以通过灰度控制形成2.5D结构;当加工进一步走向复杂三维结构时,飞秒激光开始体现出更独特的价值。相比传统平面光刻,DLW更灵活,也更...
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