超快精密加工子系统采用超短脉冲光源,All-in-one结构设计,智能化软件控制,基于振镜加工模式实现高精度多材料加工的一款工具。子系统配备了高精度视觉系统和联动控制软件,可进行视觉定位和大幅面加工;光路中增加偏振优化,消除激光材料作用中存在的各向异性,提高加工品质。光路模块设计提高光路稳定性和使用寿命。
1.高精度视觉监测和定位
2.高精度无限幅面拼接
3.偏振优化
4.振镜自动校正
5.支持多轴扩展
6.支持固定、飞行光路方案

1.金属材料高精度切割、钻孔
2.薄膜及复合材料加工
3.软陶瓷加工
4.金刚石材料加工
5.碳化硅晶圆标记
