Revo 257深紫外飞秒激光器

深紫外精密赋能，定义纳米级修复新标准。 DUV Precision, Defining New Standards for Nanoscale Repair.

Revo-257 是一款集红外、绿光与深紫外（DUV）于一体的三波长飞秒激光器，专为半导体前道工艺与高阶精修打造。产品基于华日成熟的红外飞秒种子源及高效四倍频技术，实现 257nm 的稳定输出。其极短波长具备在纳米尺度下通过光化学作用实现材料去除，是半导体掩模版精修及高端晶圆检测的理想光源。